케이조인스
K-HGMS-003
3년
주장비
시험
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2012-05-21
220,000,000원
고정형
시간별
원
<필요성/적합성> ○ CMP용 폐슬러리에는 화학용액, D.I. water 및 Cr, Cu, Co 등의 중금속 오염물질이 다량으로 포함되어 있어 고농도 폐액 또는 다량의 폐수가 발생하여 환경오염에 심각한 영향을 미침 ○ 고구배자장을 이용한 초고속/대용량 자기분리를 이용하여 폐슬러리의 재활용 및 환경오염 배출량을 감소시켜 친환경 CMP 공정기술을 확립할 수 있음 <원리/특징> ○ 고자장/고구배 마그넷을 이용하여 높은 자장을 발생시키고 마그넷 보아 내부에 설치한 극세자성선 매트릭스로 구성된 자기필터 내부로 현탁액을 통과시키면 높은 자기력이 작용하여 자성체 미립자는 자기필터 안의 매트릭스에 고속으로 포획되고 정화 처리시키는 원리 ○ 저손실, 고구배자장 발생용 고자장 마그넷을 이용함으로서 강자성체 뿐 만 아니라 약자성체, 극세 미립자도 초고속분리 가능 <주요사양> ○ 마그넷 : 직경 10cm 이상 크기의 최대 3만 Gauss 이상 강자장 발생 ○ 자기필터 : 페라이트계 SUS 420 ○ 마그넷 중심 자장 : 3T 이상, 운전 전류 : 100A, 인덕턴스 : 20H <사용용도> ○ CMP용 폐슬러리에 다량으로 포함되어 있는 환경오염에 심각한 영향을 미치는 Cr, Cu, Co 등의 중금속 오염물질 완벽하게 제거 할 수 있으며 다음과 같은 여러 가지 다양한 용도로 적용 가능 함 ○ 산업폐수 : 반도체, 제철, 도금, 염색, 제지공장 등에서 나오는 폐수 처리, 생활하수의 인 제거, 슬래그 분리 등 ○ 자원정제 : 지하수의 비소제거, 원자로의 방사선 원소 분리, 폐광산의 중금속 제거 등
○ 마그넷 : 직경 10cm 이상 크기의 최대 3만 Gauss 이상 강자장
○ 자기필터 : 페라이트계 SUS 420
○ 마그넷 중심 자장 : 3T 이상, 운전 전류 : 100A, 인덕턴스 : 20H