Leco
PegasusHTTOFMS
3년
주장비
분석
기타 > >
2012-05-07
187,000,000원
고정형
시간별
원
<필요성/적합성> ○ SF6 가스의 흡착-분리 혼성 공정의 효율 측정을 위한 필수 핵심 장비 ○ 고정밀도(high accuracy) 측정을 통한 개발 장치의 효율 정밀 검증 <원리/특징> ○ SF6 가스의 기화를 통한 이온화 농도 측정 ○ 고정밀도 질량 분석을 통한 고정밀 흡착-분리 효율 검증 <주요사양> ○ 정밀도 : ± 5 % 이내 <사용용도> ○ SF6 가스의 기화를 통한 이온화 농도 측정 ○ 고정밀도 질량 분석을 통한 고정밀 흡착-분리 효율 검증
- Ionization Source: Electron Impact
- Mass Range: 5 to 1000amu (권장 500amu 이하)
- Mass Resolution: 1 to 500 spectra/second range
- Full-range mass sensitivity: 2 pg of Hexachlorobenzene on column produces signal-to-noise ratio 10 at mass 284 ion
- Limit of Quantification of HCB: 20 pg
- Dynamic Range of HCB: 0.01 to 50 ng
- Precision @ 200 pg of HCB: 5% with internal standard
- Mass spectrometry detector: MCP (Micro Channel Plate)