참트론
Model:CH-LiEVA100
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 달리 분류되지 않는 성형/가공장비
2012-04-27
51,700,000원
기관의뢰
고정형
일별
40,000원
1) 원리 및 특징
- 본 장비는 녹는점이 180 oC인 리튬금속을 고진공 챔버안에서 열로 기화시켜 리튬 박막을 기판위에
증착하는 시스템임. 리튬금속은 수분에 민감하게 반응하여 쉽게 산화되는 특징이 있으므로 리튬금속증착시스템은
드라이룸안에 별도로 설치하여 사용되어야 함.
2) 구성 및 성능
- Chamber size 400*400*450(H), Rotation mechanics, Substrate size 100*100, Rotary pump 300L/min,
Turbo molecular pump 400L/sec, Crystal sensor
3) 사용예
- 본 장비는 리튬금속을 고진공 챔버안에서 열로 기화시켜 약 2 um 두께의 리튬 박막을 고분자 전해질 박막위에
증착하여 리튬 이온고분자 전해질 박막전지를 제조하는 데 사용가능함.
4) 활용분야
- 리튬이차전지용 리튬음극재 제조
- 리튬 고분자전해질 박막형 전지 제조
- 리튬-에어 전지용 금속음극재 제조
2) 구성 및 성능
- Chamber size 400*400*450(H) Rotation mechanics Substrate size 100*100 Rotary pump 300L/min Turbo mol ecular pump 400L/sec Crystal sensor