브이티에스
VTSEB-100
4년
주장비
생산
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
2012-04-20
291,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
129,080원
1. Feature
> 전자총
- 전자총 출력 용량 : 70kW 이상(최대 100kW)
- 전자빔 패턴 스캐닝 모드
> 파워 컨트롤러
- 파워 용량 : 최대 100kW
- 아크 방전 회복 시간 : 10 ㎲
> 적용공정
- 세라믹 및 금속소재의 증발증착 공정 가능 (융점: 3600℃ 이상 소재 적용)
- 증착속도: 5㎛/min 이상 (출력: 70kW 이상/공정압력: 6×10-5 torr 이하)
* 기 보유장치에 장착 되어 작동
- 기존 공정용 챔버 adapting 및 간섭 배제
- 기존 공정제어 프로그램과의 호환 필요
> 전자총
- 재질 : Alloy Steel 외
- 전자빔 방출 용량 : 70kW(30kV 이상) 이상(최대 100kW)
- 전자빔 편향 각도 :X, Y 각각 최대 ±45도
- 전자빔 주사기구 : X-Y, Scanning frequency 각 1kHz
- 컴퓨터 프로그래머블 패턴 스캐닝 모드 구성
- 냉각방식 : 수냉식(10L/min)
- 전자총 압력제어 : 터보펌프를 장착하여 챔버와 별도로 자체 압력제어 및 shield 가능
- 전자빔 집속 초점거리(출구로부터): 100~1,000mm(focus 5mm이내)
- 전자빔 방출타입 : Electron bombardment cathode self accelerating type
- cathode 수명 : 100,000시간 이상
- cathode 형상: 금속 양이온 스퍼터링에 의한 cathode의 형상이 무변화
- 전자빔 90도 굴절 조사 가능
> 파워 콘트롤러
- 최대 출력 파워 : ~100kW
- 가속 전압 : ~30kV
- 방출 전류 : 0.1 ~ 3.4 A
- 가속 전압 안정성 : 380V±10%,±0.5%
- 아크 방전 회복 시간 : 10 ㎲
- 입력 파워 : 3상, 50/60 Hz, 400kVA