(주)파이버프로
DI5100
10년
주장비
계측
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
2012-04-09
62,700,000원
직접사용
고정형
일별
28,800원
Features1. 로봇 모터 스테이지 6축 2개2. 13채널 드라이버 적용3. 접촉 센서 적용으로 정밀한 측정 가능
가전로봇 광부품 고자의 특성평가 및 모듈화를 위한 광원/검출기/광섬유 정렬공정 개발 및 공정간 실시간 검수
광부품 소자 및 모듈의 광학 특성 측정을 자동화할 수 있음
통신 시스템화 구축의 첫 단계인 로봇부품특성 측정을 위한 모듈화 공정 적용
Specification- 6-axis 이상 motorized stage : 입력단/출력단 2set- x200 이상 zooming camera 2ea - 13channel 이상 motor driver- Alignment 오차 : max +100nm ~ -100nm (X, Y축) 이내- DUT 접근 위치 MAX +500nm ~ -500nm (Z축) 이내- Alignment angle : MAX +0.05 ~ -0.05 Degree (Th X) 이내- Alignment Angle MAX +0.01 ~ -0.01 Degree (Th Y) 이내- Alignment Angle MAX +0.0032 ~ -0.0032 Degree (Th Z) 이내- 접촉센서 (contact sensor) : 미크론 단위의 초정밀 접촉 센서.- 방진 광 테이블 (Isolation table) : 주변 진동에 영향을 받지 않는 구동 확보.- Dispenser- Center Jig set : 기계적인 고정을 위한 가동된 지그 세트 필요.- Wavelength : 680 nm ±2nm - Source spot size : < 1mm