우성하이백
Thermal Evaporator
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2012-03-30
45,000,000원
직접사용
고정형
건별
40,000원
수분 및 산소 0.1ppm이하 조건에서 전극용 금속박막을 진공증착을 통해 패터닝하는 장비로써, 동시에 2가지 소재(예: 금, Al)를 증착할 수 있으며, 박막두께를 실시간 모니터링할 수 있음.
진공도 10^-6 Torr이하에서 금속박막 증착이 가능하며, 두께조절 센서를 이용해 증착속도 제어 가능.
Source Boat로 2개가 장착되어 있으며, 샘플 Plate의 회전이 가능함