마이다스시스템
MDA-60MS
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2012-03-29
150,000,000원
고정형
원
- 업체명 / 품명 / 모델명
마이다스시스템㈜ / Mask Aligner / MDA-60MS
- 용도 설명
마스크를 놓고 웨이퍼와 정렬 후 회로패턴을 찍어 노광
감광액 도포를 위해 Substrate에 코팅용액을 뿌려주고 고속 회전을 통해 표면에 고르게 코팅
기술력
TSA(Top Side Alignment) / BSA(Back Side Alignment) PressureVacuum Proximity Contact Sample Size : 6/8 inch Dual CCD Zoom Microscope (MODEL-MDA60MS)