Coherent
COMPexPro 102F
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
2012-03-05
100,000,000원
고정형
원
1. 품명/모델명/수량
- PLD Laser / COMPexPro 102F / 1 sys
2. 용도 설명
상기 제품은 KrF Gas를 본 시스템에 주입하여 248nm의 파장에서 최대 400mJ의 Energy를 발생시키는 Laser입니다. 태양전지, 메모리 소자 등에 응용될 수 있는 반도체 산화물 박막을 PLD (Pulsed Laser Deposition) 방법으로 증착하고자 할 때 반드시 필요하며, 증착하고자 하는 target 물질을 고출력의 Excimer laser로 증발(laser ablation) 시켜 양질의 산화물 박막을 얻을 때 필요한 장비입니다.
3. 특징
본 제품은 전 세계에서 유일하게 High pulse energy(>1000mJ at 248nm)를 공급하는 제조사의 한 장비로서 본 연구 과제를 수행함에 있어서 절대적으로 필요한 장비이며 국내 뿐만 아니라 전세계에서 이미 검증 받은 신뢰할 수 있는 장비입니다.
본 연구과제인 Pulsed Laser Deposition (PLD)은 High pulse energy 를 절대적으로 요구하는 Application 으로서, 타사의 경우 아직 기술적으로 접근하기가 매우 어려운 상황입니다. 추후 System upgrade 가능성 및 제조사인 Coherent Korea Ltd 설립으로 System trouble 시 즉각적인 서비스가 무엇보다 큰 장점입니다. 또한 본 제품의 Lifetime 이 매우 우수하여 유지관리 측면에서도 매우 유리한 장점이 있습니다.
본 연구과제인 Pulsed Laser Deposition (PLD)은 High pulse energy 를 절대적으로 요구하는 Application 으로서 타사의 경우 아직 기술적으로 접근하기가 매우 어려운 상황입니다. 추후 System upgrade 가능성 및 제조사인 Coherent Korea Ltd 설립으로 System trouble 시 즉각적인 서비스가 무엇보다 큰 장점입니다. 또한 본 제품의 Lifetime 이 매우 우수하여 유지관리 측면에서도 매우 유리한 장점이 있습니다.