㈜이공교역
SU8020
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2012-02-29
693,716,788원
고정형
144,524원
○ 주요사양1. Resolution : 1.0㎚ guaranteed at 15㎸ or better 1.3㎚ guaranteed at 1㎸ or better2. Magnification : x20 ~ x2,000,000 or better3. Electron optics 1) Electron gun : Field emission type electron gun 2) Accelerating voltage : 0.5 to 30㎸ or wider 3) Lens system : 3-stage electromagnetic lens, Zoom reduction type 4) Objective lens aperture : Movable aperture or ACL 5) High vacuum SE Detector : 2 or 3 SE Detector - Top secondary electron detector (SE, BSE separate detection system) - Upper secondary electron detector (SE, BSE separate detection system) - Lower secondary electron detector 4. Specimen stage : Fully Eucentric 5axis motorized stage 1) Traverse - X : 0 to 50㎜ or better - Y : 0 to 50㎜ or better - Z : 1.5 to 10㎜ or better (continuous) - T : -5˚ to +60˚ or better (continuous, eucentric) - R : 360˚ (continuous) 2) Stage control - Controlled through Navigation software - Shift to specimen exchange position - Stage History on sample position trace - Eucentric rotation function - Position memory function - Position display function - Image navigation function - Rotation assist function 3) Maximum specimen size : 100㎜ dia. at Air-locking method or better 5. Monitor for SEM viewing : 24" TFT-LCD monitor or better 6. Operating system : Microsoft Windows XPTM 7. Operating control : Keyboard, Mouse & Rotary knobs should be equipped. Track-ball 8. Scan mode : Various scan mode should be equipped. 9. Electron optics alignment : Beam alignment Aperture alignment Stigma alignment Low magnification alignment 10. Digital Image Processing : Built-in 11. Frame memory : Max. 2560 x 1920 pixels memory or better 12. Image data print-out : Free layout print function provided 13. Operating conditions storage : Registerable 14. Vacuum system 1) Vacuum sequence : Fully automated with pneumatic valves 2) Ultimate vacuum - to 10E-8 Pa (electron gun) - to 10E-4 Pa (specimen chamber) 3) Vacuum pump - Ion pump : 60L/sec x 1, 20L/sec x 2 or better - Turbo Molecular Pump (Magnetic Floating Type) : 300L/min x 1 or better - Oil rotary pump : 100L/min x 1 or better 4) Auto detected safety devices : For protection against power failure, electrical leakage water failure, vacuum failure
<원리>진공중에 놓여진 시료표면을 1-100nm정도의 미세한전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부기전력등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관) 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량등의 분석을 행하는 장비주사전자현미경(FE-SEM)은 범용 기본 장비로서 각종 무기/금속 첨가물 및 플라스틱, 고무 등의 형태 관찰 및 원소 분석 을 통한 품질관리 기술기반, 품질관리 등 신뢰성 평가용으로 많이 사용되고 있음<특징>기존의 FE-SEM과 가장 차별화 되는 Triple SED(Top/Upper/Lower) 장착으로 Pure SE signal을 이용해 1kV 이하의 극저가속 전압에서도 재료의 조성 비교를 명확히 할 수 있는 장치로 다양한 재료를 분석 해야 함패키징의 경질 연질 다양한 재료에 적합한 가속전압을 사용하여 분석가능한 사양으로 구성되어 함. 즉, 패키징 재료의 표면손실 없이 극저전압에서도 분석 능력이 뛰어나야 함패키징 재료 특성상 표면코팅 없이 극저전압에도 분석 가능한 사양