코리아바큠테크
KVP-2000
10년
옵션/액세서리(보조장치) (주장비:PLD 레이저)
시험
물리적 측정장비 > 달리 분류되지 않는 물리적 측정장비 >
2012-02-22
200,000,000원
고정형
원
- 업체명 / 품명 / 모델명
코리아바큠테크㈜ / Pulsed Laser Deposition System / KVP-2000
- 용도 설명
Metal 및 Ceramic target 을 carrousel type target holder에 부착한 후 진공 Chamber 외부에서 Pulsed laser beam을 입사시켜 박막을 얻고자 하는 장비로서 복잡한 조성의 진공박막증착에 유용하다.
코리아바큠테크㈜는 단순 PLD(Pulsed Laser Deposition) 공정뿐만 아니라 다공성 전극을 이용하는 상압 플라즈마 장치의 특허를 가지고 있어 시편을 800℃의 고온에서 증착 및 고온을 유지하면서 10 torr 상압산소분위기에서 안정적으로 Oxidation 공정을 할 수 있는 장치를 자체 Know-How로 설계 제작할 수 있는 기술력을 보유하고 있다.