(1) AFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너 - 최대 샘플 사이즈 : 150mm x 150mm ( 두께 : 최대 20mm thick ) - 최대 샘플 중량 : 500 g - 샘플 이동거리 : 최대 150mm x 150mm ( 고정밀 모터스테이지 )- 100 um 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어 * 수평(XY) 측정영역 : 최대 10 um x 100 um * 분해능 : < 0.1 nm (open-loop), < 1.5 nm (closed-loop)* Out-of-plane curvature (스캐너 왜곡율) : 2 nm 미만 (수직방향 / 소프트웨어 보정 없이50 um 측정 시)- 수직(Z) 스캐너 : * 수직(Z) 측정 영역 : 최대 12 um ( Low Voltage Mode : 1.7 um ) * Noise floor : < 0.02 nm (typical), < 0.05 nm (maximum) * 최대 주파수 : 3 kHz 이상 - 수직(Z) 스테이지 이동 : 27 mm ( 해상도 : 0.1 um )- 캔틸레버 변형 검출 : SLD ( Super Luminescent Diode ) 이용* 파장 : 830 nm ( Coherent Length : 50um 미만 )- SPM 측정 기능 : Contact AFM, DFM,NC-AFM, LFM, PhaseImage, Forcevs. Distance curve, Conductive AFM, I/V Spectroscope, Tr-PCM- 비디오 광학 현미경 : 수직(Z) 스캐너 축에 일치 ( CCD 카메라 장착 ) * 배율 : 780 배 ( 19" LCD 모니터 상 ) * 해상도 : 1 um ( 0.28 N.A ) * 디지털 인터페이스 : IEEE 1394 * 프레임 레이트 : 최대 20 Hz * 관찰 영역 : 480 mm x 360 mm * 디지털 줌 : 최대 100 배 (2) Conductive AFM - 동작 Mode : Contact AFM - 샘플 표면에서 전기적 특성 이미지 측정 - DC Bias 전압 범위 : ± 10 V ( 0.001 V 단위 ) - 전류 범위 : 1pA ~ 10mA - Spectroscopy 범위 : I ( 1 pA ~ 10 mA ), V ( -10 V ~ +10 V ) - 전류 노이즈: < 0.3pA- Cut-off 주파수 : 1.2kHz(3) Time-Resolved Photocurrent Mapping including Photoconductive AFM- 시료표면의 광전도 분포 측정 및 되먹임 레이저를 조사하여 다른 빛 간섭 없는 시간에 대한 광전하 반응 측정 - 빛 조사 시 시간에 대한 광전류의 분광- 시간에 대한 광전류 분광 분석의 자동화 및 임의 지점에서의 광전기 반응 분포도 - Mapping 이미지 : Up to 256 x 256 points- 전류 해상도: 0.03 nA- 전류의 측정 노이즈 수준 : < 1pA (증폭비에 의존함)- 조명도 : 0 to 100% of 3mW laser- 측정시간 해상도 : 20 µsec