제이에이치테크
모델명 없음
8년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2012-01-27
45,100,000원
고정형
기타
0원
SiO2 박막 증착용 장비입니다. Dry pump를 사용하여 기저 압력 1mTorr 까지 펌핑을 하며 MFC를 통해서 SiH4 가스 및 N2 가스를 주입하여 작동 압력은 0.1Torr 에서 5Torr 정도에서 증착이 이루어집니다.
SiH4 가스경우 순도 99.999% 원액을 사용하며 유량은 1sccm부터 100sccm 까지 조절 가능합니다. 질소 가스의 경우 순도 99.999% 고순도 질소를 사용하며 유량은 1sccm부터 100sccm 까지 조절 가능합니다. RF 플라즈마를 사용하여 플라즈마를 발생시킵니다.