시스넥스
SYS-SG21A-1102, SYS-SG11A-1008
4년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열증착기
2012-01-20
47,900,000원
고정형
원
장비설명
◈ 장비 특성
1. Gas cabinet - 반도체 공정에 필요한 독성 및 가연성 가스를 안전하게 관리하기 위한 캐비넷 - Gas 누설에 대한 Alarm 기능 / Main system과 연동되는 Alarm 기능
2. Wet Scrubber - HCl, NH3, NH4Cl 가스를 처리할 수 있는 장치
3. Electric control system - VPE system을 연동하여 운용할 수 있고, Gas cabinet, wet scrubber와 연동될 수 있도록 구성되어 있는 PC base의 control 장치
구성 및 성능
◈ 장비구성 1. SiH4 / NH3 Gas cabinet - Case Material : SS41 2.3t(가연성) - 방폭유리 : 철심망 5t - Painting : Structure Powder - Cylinder : 2 bottle - Gas : SiH4 / NH3 - Gas supply type : Full Auto Type - Control system : PLC & Touchcreen(Color touch) - Power : AC220V, 3A, 60Hz, 단상 - 가스 안전 공사 인증 2. HCl Gas cabinet - Case Material : SS41 2.3t(가연성) - 방폭유리 : 철심망 5t - Painting : Structure Powder - Cylinder : 1 bottle / 1 spare - Gas : HCl / spare - Gas supply type : Full Auto Type - Control system : PLC & TouchScreen(Color touch) - Power : AC220V, 3A, 60Hz, 단상 - 가스 안전 공사 인증 - Network Port 지원 3. Wet Scrubber - Main Body - Pressure Gauge - Circulation Pump - Alarm signal 출력 - 기타 4. VPE Electric Control System - Control Software - Industrial Computer - PC Base Control Hardware - Safety Interlocks