QMC
ELMS1000
7년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2006-12-29
678,039,690원
고정형
시간별
28,252원
반도체광원 시험생산 기술지원사업, 한국광기술원, 김왕기 1. Upgrade kit for beam uniformity (1) 광학계 Laser beam균일도 증진을 위한 upgrade광학계 구성 안정적인 Lift off 공정진행 및 최대 가용 beam size증대 (2mm x 2mm 4mm x 4mm) (2) N2 Purging Laser beam transmission의 증진 및 광학계 Life time의 증대를 위한 BDS내 N2 Purging 기능 구현 (3) Lens mount Beam alignment가 용이하도록 Lens Mount의 X,Y, Theta축 조절이 가능 (4) Beam Delivery System Box Maintenance 편리성 증대 (5) Sealing 처리 (BDS내) 효율적인 N2 Purging구현 6) Laser comsumable part external output coupler external rear resonator beam splitter tube window
크기 - 2,400(W) x 900(D) x 2,100(H)전원 - 220V 3P 50/60Hz.Utility - CDA : 압력 5~10kgf/cm2. GN2 : 압력 2kgf/cm2. PCW : 3kgf/cm2Software - Laser lift-off operation program : 1set