Aaron
AGC06-FA3-K65
10년
부대장비(부가장치) (주장비:유기금속화학증착기(성장))
기타
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2006-11-02
64,251,000원
직접사용
고정형
시간별
26,771원
SF6 및 SiH4 가스를 공급하기위한 보관함
독성가스를 안전하게 공급하기 위한 보관함 Gas:Cl2, BCl3, SiH4,NH3 pressure, cl2:85psi, Bcl3:4psi
shutter valve, 2 bottle, 세미오토로 실린더 교체, 가스디텍터
N2 purge automatically purge, regualtor, HP.LP process valve