Jusung Eng.
Eureka 2000
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2006-10-30
430,000,000원
고정형
건별
250,000원
특징
- 8 inch wafer
- 에피 성장 (SEG, SiGe, Ge, SiC)
- 기판온도 750℃까지 진행
- Uniformity 1% 이하
활용분야
POP시스템
특징 - 8 inch wafer - 에피 성장 (SEG SiGe Ge SiC) - 기판온도 750℃까지 진행
기판온도 750℃까지 진행 - Uniformity 1% 이하 활용분야 POP시스템