유진테크
BJM100
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2006-10-24
694,688,000원
고정형
건별
150,000원
특징
온도 약 700도, 저압분위기에서 반응 Gas는 기판 위에서 화학반응을 하여 고품질의 박막이 성장
구성및성능
구성: Platform, PM, Main Control Rack, PM Control Rack, Clean Front Frame, Monitor Rack, Dry Pump, Main Power Box, Gas Scrubber etc. 성능: 박막의 두께 균일도 ±3%(1sigma) 이하
활용분야
SiO2, Si3N4, Undoped Poly-Si, Doped Poly-Si 박막 증착
소 개
Bluejay M100 single Nitride 시스템은 고온을 이용한다.
CVD와 유사하게, 화학 반응은 웨이퍼 위에 질화막을 증착 시킨다. 이 공정은 고온(650 ~ 750℃)
과 저압(250 ~ 350 Torr)에서 수행된다..
이 PM(process module) #1, #2는 TM(transport chamber)의 스테이션 #1, #2와 웨이퍼 센서가
장착된 slot valve로 결합된다.
PM, platform, clean front frame, main system control rack 은 clean 및 service area에 위치한다.
main power box, heat exchanger 와 dry pump unit은 plenum area에 위치한다
구성및성능
구성: Platform PM Main Control Rack PM Control Rack Clean Front Frame Monitor Rack Dry Pump Main Power Box Gas Scrubber etc. 성능: 박막의 두께 균일도 ±3%(1sigma) 이하