JEOL
JSM-7401F
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2006-12-26
437,000,000원
고정형
시간별
60,000원
전자빔을 주사할 때 발생하는 2차 전자를 탐지하여 고배율의 표면 형상 관찰 및 성분 분석
1. FE-SEM1)분해능(Resolution) : 1.0nm(15KV), 1.5nm(1kV)2)배율(Magnification) : x25 ~ x1,000,0003)가속전압(Accelerating Voltage) : 0.1KV to 30KV2. EDS1) EDS 분해능(Resolution) : 137eV at 2500cps2)검출범위 : 5B to 92U (4Be possible)