Hitachi
S-4800(LARGE STAGE)
3년
주장비
계측
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2006-05-02
523,359,766원
기관의뢰
고정형
시간별
47,700원
전자총에서 인위적인 전자를 발생시켜 미세하게 모아진 전자를 발생시켜
시료에 조사함으로써 발생하는 2차 전자를 이용하여 시료 표면의 미세 형상을 관찰하는 장비이며, 특정 X선을 이용한 시료 표면 구성 물질을 확인 가능
배율 : 25 ~ 500,000배
분해능 : .0 nm at 15 kV, 1.4 nm at 1 kV
시료 정성, 정량 분석, Critical Dimension 가능
Turbo Pump를 이용한 Cleaning Vacuum
다양한 Auto Function 및 Easy Operation S/W