Trion technology
Minilock Ⅲ
9년
주장비
생산
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
2006-11-30
270,522,720원
고정형
기타
원
메탈박막을 건식 식각
1. Automatic tuning with RIE 600 watt, 13.56 MHz. 2. Four 100 sccm MFCs(O2, N2, Cl2, BCl3) with by-pass line 등