X선관내의 양극(고압)과 음극(저압)에 전압을 걸어주면 음극에서 발생된 열전자가 고속으로 양극판에 충돌되면서 발생하는 X선을 1차 X선이라 하며 1차 X선이 시료에 조사하면 시료에 포함된 원소에 따라 고유한 특성을 갖는 형광 X선(2차 X선)이 발생하는데, 모든 물질은 X선에 반응했을때 고유한 특성 에너지를 발생하므로 이 특성에너지의 크기로 물질의 성분을 알 수 있고, 금속의 양에 따라서 발생하는 형광 x선의 량에 비례적으로 증가하므로 형광 X선의 전자수로 금속물질의 함량을 측정 할 수 있다.