한백테크
SPT-0606G
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
2006-09-27
193,836,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
50,000원
1) 배기 시작후 30분 이내에 10-7 Torr까지 진입 2) Full-auto System(전 공정 Program 가능) 3) 타겟과 기판 사이 거리는 1~50cm 까지 모터 컨트롤 가능 4) Gas bombe와 시스템 간 gas line의 leak rate는 1×10-9 mbarl/sec이하
1) 반응조 시스템 2) Substrate Assy Part : 6" 3) Ion Gun Source Part 4) Sputter Gun Part : 4" 5) Pumping System Part 6) Gas Delivery System Part 7) Load Lock System Part : 250*250*60H 8) Electrical Control Part 9) 표면분석 가스 시스템(2014ATF) 10) 표면 특성 분석시스템(neoTPD)