누리진공
NURO vac PE-1700
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2006-08-31
91,900,000원
기관의뢰
고정형
시간별
10,000원
- 웨이퍼 식각
▶ Vacuum Chamber assembly - Aluminum chamber body
▶ ICP type power 2kW at 13.56 MHz and matching unit
▶ RF table power 500W at 13.56 MHz and matching unit
▶ Rotary pump and Turbo pump for main chamber
▶ CH4/BCl3/Ar/H2/O2 의 5 channel gas line
▶ Specialty in wideband gap materials etch
▶ Surface treatment for materials functionality
▶ Accessories:(Local supply)