인포비온
0603S-RAT/1200C
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 전기/소결로
2006-08-31
89,400,000원
기관의뢰
고정형
시간별
20,000원
.
- 반도체 소재 급속 열처리
▶ Steady-State Temperature Stability: ± 5% / 300 ~1000℃
▶ Temperature Monitoring Mechanism: K-type Thermocouple
▶ Heating Rate : 0~100℃ per second, user-controllable
▶ Heating Source : Halogen lamp* 13ea (2Kw)
▶ Heating Control : 3-Zone Control
▶ Steady State Time : 1~9999 sec
▶ Wafer Size : 2"
▶ Wafer capacity : 4-sample holder
▶ Equipment Cooling type : Water Cooling
▶ Lamp Cooling type L Air Cooling