KAMI
V-15G
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2006-09-14
82,260,000원
고정형
건별
30,000원
Asher
250 x 250 x 250mm, aluminum chamberGas inlet : 2-gas inlet pipes (top side mounted) 2.45GHz microwave plasma source, variable power Max.600WO2, Ar gas control unit (MFC) : ≥200ml/min.Process storage capability of 10 main process with 16 sub-processPirani vacuum gauge, rotation table19" control rack, bellows-sealed valve, DN 25KF