FEI COMPANY
Quanta 200 FEG
11년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2006-02-28
406,311,793원
기관의뢰
고정형
시간별
30,000원
전계방출형주사전자현미경은 일반적인 SEM과 달리 FE(Field Emission) 전자총을 장착하여 고해상도 및 고배율, 저손상 표면 분석을 위해 활용되는 장비입니다. 시료의 표면 이미지 관찰 및 정량·정성 분석이 가능합니다.
- Better than 2.0nm at 30kV resolution in all vacuum modes
- 1.5nm at 30kV by using STEM mode
- Uses Field Emission Source which gives superious resolution
- SE, BSE images and EDS analysis can be achived without coating
- Easy to switch from three vacuum modes(HV, LV, ESEM)
- 4 axis automatic stage : x, y, z =50, r=360(t=-15 ~ 75manual)
- 12x ~ 1,000,000 x magnification
- Easy to use 4quad display
- Windows 2000 based easy operation S/W