신도기연
SDWEKH01
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2006-07-25
66,500,000원
기관의뢰
고정형
시간별
59,000원
특징
본 장비는 디스플레이나 반도체 공정에서 유리기판이나 웨이퍼에 형성된 패턴대로 필요한 부분을 선택적으로 깍아 내는 장비로서 기판 loading table이 회전하면서 etching하는 방식을 사용한다.
구성및성능
- Work size : 6 in ⅹ 6 in - 방식 : Spin etching 방식 - Spin speed : Max. 250rpm
* Work Size: 6" X 6"
* 방 식: Spin Etching 방식
* Spin Table 교환: Head 착탈식
* Spin Speed: 3 Steps - 저 중 고(Max. 250rpm)
* Spin Table 재질: Teflon
* Etching액 주입방법
- 처리액: 정량Pump (자동)