신도기연
SDCLKH01
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2006-07-25
47,500,000원
기관의뢰
고정형
시간별
47,000원
Glass 기판 혹은 silicon wafer 등을 고속으로 회전시키면서 알카리 세정액 또는 DI water를 분사하고 mega sonic을 이용하여 세정하는 장비이다. Substrate 상의 particle을 효과적으로 제거하고, 세정 공정 후 기판 표면의 DI water를 고속 spin dry로 건조시켜 얼룩 발생을 억제한다.
* Mega Sonic System
- Frequency: 1M ~ 1.6MHz
- Nozzle Arm
* 방 식: 회전도포식 1Head
* Work 고정방식: 진공흡착
* 최대RPM: >5000RPM
* 회전제어: Computer
* 용액 Dispensing 장치
* Dispenser Pressure Control
* Dispenser 구동