Tecsco
Dimension 3100 SPM
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2006-05-04
153,729,998원
기관의뢰
고정형
시간별
59,500원
캔틸레버를 이용하여 원자간에 작용하는 척력과 인력의 작용(van der waals force)에 의해 다양한 반도체 소재 및 박막의 표면분석에 활용된다. 표면의 마찰력과 같은 물리적 표면 특성 뿐만 아니라 bias를 인가하여 전기적인 표면 특성을 분석할 수 있다.
- Mode of Operation : C-AFM, LFM, MFM, EFM, - Maximum Sample Size : diameter 150㎜, Thickness 12㎜ - Scan Range : < 6㎛(vertical), < 90㎛(Horizontal) - Stage Resoulution : 2㎛