지브지텍
ITS,GV-Tech
11년
주장비
생산
화합물 전처리·분석장비 > 달리 분류되지 않는 화합물 전처리 분석장비 >
2006-07-25
62,500,000원
이동형
원
고진공으로 유기물을 기판에 증착B. Specifications - 구 성 : 유기물/금속 증착용 증착기, 소자 제조 및 측정용 글러브 박스 - 유기 및 금속 chamber Source : 3 organic source and 3 metal source- 금속 chamber source : 4 metal source- 진 공 : rough pump 및 고진공용 cryopump 설치되어야 함- 제 어 기 : 19 인치 콘트롤 패널, PLC base control- 안전장치 : Safety alarm 및 interlock- 진공 챔버 규격 : 500 (W) x 500 (L) x 600 (H) mm- 표 시 창 : 디지털 LCD- 글러브 박스 스펙 : 수분 및 산소 농도 1 ppm 이하 유지- Purifier & Regeneration Unit* Molecular Sieve and Redox* Blower: 40 CFM* Photohelic gauge- 기판 크기: 6 인치 - 기판 holder unit: z-motion, heating 및 rotation 가능C. Accessories- System Frame - Source Crucibles and Boats - Electrode Mask
B. Specifications - 구 성 : 유기물/금속 증착용 증착기, 소자 제조 및 측정용 글러브 박스 - 유기 및 금속 chamber Source : 3 organic source and 3 metal source- 금속 chamber source : 4 metal source- 진 공 : rough pump 및 고진공용 cryopump 설치되어야 함- 제 어 기 : 19 인치 콘트롤 패널, PLC base control- 안전장치 : Safety alarm 및 interlock- 진공 챔버 규격 : 500 (W) x 500 (L) x 600 (H) mm- 표 시 창 : 디지털 LCD- 글러브 박스 스펙 : 수분 및 산소 농도 1 ppm 이하 유지- Purifier & Regeneration Unit* Molecular Sieve and Redox* Blower: 40 CFM* Photohelic gauge- 기판 크기: 6 인치 - 기판 holder unit: z-motion, heating 및 rotation 가능C. Accessories- System Frame - Source Crucibles and Boats - Electrode Mask