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RAG
RAG/AG8108
주장비
교육
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2006-01-03
99,000,000원
고정형
시간별
0원
- Application : 박막증착 및 열처리- Gas :N2, O2- Substrate : 4~6” wafer- Temp rate : 750~1100℃- Process : RTN,RTO,RTA