㈜울텍
OLE-100S
11년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2006-02-20
124,000,000원
기관의뢰
고정형
기타
20,000,000원
Display OLED 관련 형광물질 증착장비
- Organic chamber : Organic EL deposition
- Metal chamber : Metal deposition
- Metal chamber
: Metal deposition
- Throuth put
: 1substrate/1run
- Thickness control
: Crystal sensor (Metal 2set)
- Source
: Metal Thermal source #2 : Tungsten boat
*2set