Vacuum Science co.
E-BEAM EVAPORATION SYSTEM
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2006-04-07
70,000,000원
이동형
원
금속/세라믹 재료를 저항가열 또는 전자빔으로 증발하여 원하는 기판에 증착하는 박막재료 제조장비
thermal(2KW) & e-beam(10KW power supply) evaporation, 4" wafer, 8pockets(crucible indexer), turbo pump)