아이넥서스(주)
Low Defect Multilayer Mask fabrication system/
12년
부대장비(부가장치) (주장비:)
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-04-18
63,500,000원
고정형
원
스퍼터(Sputter)는 스퍼터링 방식으로 박막을 제조하는 장치로 진공 상태에서 아르곤 가스를 소량 주입하고 한편에는 재료 물질인 원반형 타겟을 두고 반대 쪽에는 기판을 두고 둘 사이에 전압을 인가하되 직류(DC)와 라디오 주파수(rf), 중간주파수(mf)의 방식으로 한다
타겟의 이면에 특수한 자석을 붙여서 효율을 향상시킨다. 불활성 기체로 아르곤 이외에 크세논이 사용되기도 한다. 산소, 질소등의 반응성 기체를 첨가하여 반응성 스퍼터링을 하여 산화물과 질화물 박막을 제조한다.