월드진공
VSP-C43A
4년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 달리 분류되지 않는 성형/가공장비
2005-05-20
64,000,000원
직접사용
고정형
일별
160,000원
금속, 비금속 물질을 원하는 곳에 DC 또는 RF를 이용하여 얇게 coating 하는 장비
-Sputter gun size/quantity : 4inch/3ea
- RF power : 600W
- DC power : 600V, 3.3A
- Process chamber ultimate pressure : 7x10-7torr
- Substrate : rotation 60rpm, temp. max. 500도