아텍시스템
개발장비
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-06-27
272,000,000원
고정형
56,667원
- 공정적용: CrN, TiN, TiAlN 의 하드코팅- 유효 코팅용량: Ø600×800H, 500kg- 타겟 수: 12EA- 도달 진공도: 7×10^ - 3 mTorr- 공정온도 : 150℃ - 400℃- 공정압력 : 5mTorr ~ 5mTorr
직경 800×H1200(capacity), 500Kg(Load) 의 용적으로 설계되었으며 진공배기시스템과 질소, 알곤, 수소, 메탄의 반응가스를 인가할 수 있음. 전원장치는 본장비에 포함되지 않으나 200A DC 전원 13개와 바이어스 전원을 구비하고 있음. 12개의 Arc Gun으로 타겟을 구성하고, 크라이오 펌프 등의 배기 라인을 구비. 2016년 크라이오펌프에서 터보펌프로 변경