SURFACE SYSTEMS KOREA
FEG1000/XR5
5년
주장비
분석
기타 > >
2005-02-21
296,756,054원
고정형
61,824원
- Monochromated . Rowland circle: 500mm . Electron gun: 15keV nominal operating voltage . Typical spot sizes: 120㎛ 150㎛ 200㎛ 320㎛ 400㎛ 500㎛ 650㎛- Electron flood gun . Energy range: 0-80eV . Maximum current: 15A at 10eV- Small Spot Electron gu
- Auger전자의 에너지를 측정하여 원소의 종류 및 정량 분석- 고체 시료의 미소부위 분석 및 표면의 정성분석, 고체 시료 표면의 정량분석, 시료 내부 및 계면의 화학적 결합상태 확인