(주)코썸사이언스
Surf C System
5년
주장비
계측
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2005-06-21
132,390,608원
고정형
27,581원
- Objective Lens: 20X, 50X, 100X- Vertical resolution: 1nm, Lateral resolution: 0.31㎛- Field of view(20X, 50X, 100X): 800×755, 320×302, 160×151(um)- Vertical Scan speed: 10㎛/sec
- MEMS, Tribology, Semiconductor 등에서 사용되는 3차원 표면측정장비(3D-Profiler)이다. 본 장비는 Multi Pinhole을 사용한 Confocal Measurement 방식의 3D-Profiler로서 국내에서는 생산되지 않는 제품이며, 본 장비의 사용으로 사용자는 live video image profile (2D)과 topographic view (3D)를 이용하여 측정한 샘플의 형상을 분석할 수 있다. (width, height, angle, radius) 또한 표면의 Waveness, Roughness 등을 측정할 수도 있다.- 원리 자체가 Confocal(렌즈의 초점이 맞추어진 data값으로만 Profile을 그림)이기 때문에, 주위의 진동이나 Noise에 영향을 받지 않아 제진 테이블이 없어도 분명하고 깨끗한 측정결과를 얻을 수 있으며, 경사도가 높은 Sample의 경우에도 Sample의 Profile을 측정