옵토시스템
VMS2100
9년
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-12-05
308,634,198원
직접사용
고정형
시간별
128,598원
LD 칩의 전기적특성을 측정하는 장비
Chip supply part
1) X, Y, and θ table of motorized stage.
2) Sheet vacuum unit and chip pick up unit
○ Chip supply part1) X, Y, and θ table of motorized stage.2) Sheet vacuum unit and chip pick up unit3) Image processing for alignment of wafer and chip (automatic magnification)4) Anti-static ion blower to prevent dust accumulation