vecco
MOS-1390
10년
부대장비(부가장치) (주장비:유기금속화학기상증착 장비 )
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-09-15
114,900,000원
직접사용
고정형
시간별
47,875원
다중 레이저를 이용한 spot 간격 측정에 의한 웨이퍼의 곡률 및 응력측정
± 0.05 ℃ Measurement Sampling Rate 11Hz 22Hz 11Hz 22Hz Measureme
Measurement Range -40 ℃ to 350 ℃ -40 ℃ to 350 ℃ -40 ℃ to 200 ℃ -40 ℃ to 100 ℃ Measurement Accuracy ± 0.2 ℃ ± 0.05 ℃ ± 0.2 ℃ ± 0.05 ℃ Measurement Sampling Rate 11Hz 22Hz 11Hz 22Hz Measurement Resolution 2 0.1 ℃ 0.01 ℃ 0.1 ℃ 0.01 ℃