원익아이피에스
FA-2000
10년
부대장비(부가장치) (주장비:유기금속화학증착기(성장))
기타
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-09-09
33,000,000원
직접사용
고정형
시간별
13,750원
독성가스를 안전하게 공급하기 위한 보관함 1) Gas: Cl2, BCl3, SiH4, NH3 2) Pressure: ① Cl2: 85psi ② BCl3: 4psi ③ SiH4: 1250psi ④ NH3: 114psi
특징 2 cylinder gas cabinet 1) Controller: PLC+touch screen(GMS) 2) N2 Purge: Automatically purge 3) Regulator 4) HP/LP process valve: Manual and Pneumatic 5) Filter 6) Pressure gauge 7) Purge/vent check valve 8) Weight scale 9) Fire detector 10) Leak detector 11) Valve shutter 2 cylinder gas cabinet 1) Gas: Cl2, BCl3, SiH4, NH3 2) Pressure: ① Cl2: 85psi ② BCl3: 4psi ③ SiH4: 1250psi ④ NH3: 114psi 3) Weight scale: Cl2, BCl3 4) Fire detector: SiH4, NH3 5) Leak detector: Cl2, BCl3, SiH4, NH3 6) Valve shutter: Cl2, BCl3, SiH4, NH3