Veeco
D-180GaN
11년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-07-19
901,065,700원
기관의뢰
고정형
시간별
250,000원
III족 질화물박막 성장용 유기화학기상증착 장비
2인치 7장 loading
InGaN/GaN 구조 성장
AlGaN 박막 성장
GaN 기반 LED 및 LD 성장
사파이어, Si, GaN 기판 사용 가능
2인치 7장 loading가능
성장온도 구간 1100도 제한
성장 압력 500 torr ~ 200 torr
사파이어, Si, GaN 기판 loading가능
성장시 1200 rpm 회전