월드진공
HVS-500A
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-07-10
128,700,000원
직접사용
고정형
시간별
53,625원
LED 용 전극증착 장비(광반도체 전극 형성을 위한 금속 박막 증착용 장치)
◦증착 금속 종류 : Au, Al, Ni, Cr 및 Ti 코팅 (Pocket 2set)
◦Chamber 진공
- 기본 진공도 : 5×10-7torr 이하
◦적용가능 기판크기 : 6×2〃, 3×3〃, and 3×4〃 wafers◦증착 금속 : Pt, Pd, Al, Ti, Au, Ni Deposition on LED Epi wafers and devices◦두께 uniformity : ±3%◦기판 온도 : max. 200℃◦E-beam gun 파워 : 10kW◦금속 pockets : 6×20cc◦두께 모니터링 : IC/5 Inficon made◦진공 시스템 : Cryo pump / Roughing pump