베큠싸이언스
VSILS-1054A
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-06-21
417,670,000원
직접사용
고정형
시간별
174,029원
고휘도 LED에 높은 투과율과 전도도를 가지는 산화물 투명전극을 사용하면 휘도와 LED의 신뢰성을 향상시킬 수 있으므로 산화물 투명전극인 ITO와 ZnO를 증착하기 위한 증착장비임
Batch type In-Line vertical side Sputtering system ◦적용가능 기판크기 : 6×2“, 2×4” wafers◦증착 산화물 투명전극 : ITO, ZnO, Doped-ZnO, 다성분계 투명 산화물 전극◦Sputter gun - DC+RF Combination magnetron Cathode - DC : 2.5kW, RF : 1kW ◦사용 gas : Ar, O2, N2◦두께 uniformity : 3% 이내◦구동 방식 : 컴퓨터 제어에 의한 자동화 시스템◦산화물 투명 전극 투과도 : 80% 이상 (380nm ~ 800nm)◦진공 시스템 : Cryo pump / Roughing pump