FST
FST-50-SD
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-06-20
110,000,000원
직접사용
고정형
시간별
45,833원
준비된 웨이퍼 및 재성장용 웨이퍼의 세척 및 수분 제거용
◦공정 chamber 구성
- 2인치 또는 4인치 cassette
- IPA 증기분무기 또는 거품 박스, IPA 배수와 자동 IPA 수위감지기
- 자동소화 및 N2 가스 공급 설비
공정 chamber 구성 - 2인치 또는 4인치 cassette - IPA 증기분무기 또는 거품 박스, IPA 배수와 자동 IPA 수위감지기 - 자동소화 및 N2 가스 공급 설비 - leak 감지시스템 - DIW 고유저항률 측정전기 조절 구성요소 - PID 온도 조절기 - Solenoide 밸브 - Power Vaccine Unit (Voltage Drop or Instant Power Failure) - Power : 100 ~ 230VAC, 50/60Hz, GroundIPA 공급 - IPA Refiller with IPA filter - IPA Supplier bottle (20L Bottle);Gas scrubber : IPA 가스 감지기, 자동 배기 시스템