AML
AWB-04
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-05-03
178,375,726원
직접사용
고정형
시간별
74,323원
두 웨이퍼간의 전기적인 특성을 이용하여 접합하는 장비
실리콘, Glass 등 이종 기판 간의 접착
챔버와 챔버의 진공을 생성해주는 터보펌프와 로터리 펌프로 구성되어 있음.
진공게이지추가
- 정렬 분해능 : 5μm - 각도범위 : ±30° - Z축 범위 : 10mm기판크기 : 2", 3", 4" and 6" - 최소 유리두께 : 0.4mm - 최대 유리두께 : 10mm작동 ; 수동 / 자동모드 가능결합가능범위: Anodic, Fusion, Glass Frit, Adhesive & Eutectic 접합력 : 2000N챔버 진공도 : < 1x10-5 mbar온도 조절 : 최대 560℃, 균일도 ± 2°C @ 4“, ±3.5℃