karl suss
PA200
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-04-22
188,813,408원
직접사용
고정형
시간별
78,672원
Photo Diode를 웨이퍼상태에서 전기적 특성인 광전류와 암전류를 측정하는 장비이며
제조된 photo diode의 가 부를 잉크로 마킹이 가능한 것으로 자동으로 측정이 가능함.
기판크기 : ≤ 2인치Bias 전압 : 115, 230V, 60Hz, 500W Probe station - Chuck stage : x-y축으로 이동, 최대 speed 50mm/sec - Z축 이동 : 30mm이상 - Theta 이동 : ± 6° 이상 - Thermal chuck : 온도(200℃), Air Cooling Heating rate(10min), cooling rate(15min) 현미경 - 1×~2× zoom, coarse/fine focus, Eyepiece(10×),Objective(2×,10×,20×) - CCD Camera : 1/2inch CCD, C-mount ;Probe Head : 이동범위 8mm, 50TPITungsten Tip : 반경 20㎛, Shaft 지름 0.5mm측정 : I-V Tester, C-V Tester