아토
ACG-H-050
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-04-22
167,200,000원
직접사용
고정형
시간별
69,667원
순도가 높은 수소를 생성하기 위한 설비로 내부에 건식 필터가 장착되있어 순도를 99.9999%까지
필터링 할수 있는 부품임. MOCVD 장비의 공정에 사용하는 부품으로 박막 특성에 결정적인
영향을 미침
6N 정제할수있는 필터정제능력:10SLM디지털 표시부EP 배관으로 되있고, 압력을 조절할수 있는레귤레이터 및
가스 유량을 실시간으로 체크할수 있는 간이 모니터가 있음. 안전장치로 후드가 있음