Goldfinger Technologies LLC
SuperClean 1600-55M
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-04-14
65,199,960원
직접사용
고정형
시간별
27,167원
웨이퍼를 자동 세척하고 린스하는 장비
카세트 단위로 Rinsing & Dry 공정을 진행 하는 장비
◦Microprocessor type control system
-ten step, multi cycle capability
적용가능 기판크기 : 2“, 4“ wafer cassette, 25 wafers per cham기판 종류 : InP, GaAs, Sapphire, SiCycle Speed : 50 ~ 2000RPMCycle Timer : 0~9999 seconds ◦Accuracy : ± 4RPM ◦Microprocessor type control system -ten step, multi cycle capability