Daito Electron
DBM-412R/DPS-302R
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-03-18
60,401,732원
직접사용
고정형
시간별
25,167원
LD/PD 칩을 어느 일정한 사이즈 별로 가공 절단하기 위한 장비로 프로브스테이션, 블레이드, 현미경으로 이루어져 있음
◦Scribing stage control X, Y translation : X, Y 110mm
◦X axis feed speed : 0.1 ~ 20mm/sec
적용가능 기판크기 :기본 2인치, 최대 3인치 Wafer
Mount type : DFB2-6-1 wheel
Scribing stage control X, Y translation : X, Y 110mm
X axis feed speed : 0.1 ~ 20mm/sec
Y axis feed speed : 0.1 ~ 40mm/sec
Stage Flatness : 10um
Position accuracy : 1um (single stroke)
2.5um (accumulative stroke)
Scribing stage θ rotation : 120degrees
θ rotation accuracy : 0.02degree
Scribing 이미지 패턴 등록수 : 최대 30패턴
Scribing force : 5 ~ 20g